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グローブボックス・ガス精製装置

飯島機械製作所のガス精製装置の特徴

  • 窒素、アルゴン、ヘリウムなど吸着式、反応式を利用した各種高純度ガス精製装置
  • オーダーメイド生産・オリジナル製品作成が可能!
  • 開発・設計から納品・設置・施工まで一元管理。ご使用される設備の種類に応じた最適な精製装置をご提案!

飯島機械製作所のグローブボックスの特徴

  • 希ガスの水分、酸素、有機溶剤濃度を下げ低露点を確保・維持
  • 常圧(大気圧)置換型グローブボックス(圧力調整器付き)、耐真空型グローブボックス、簡易型グローブボックス、電気炉等他の設備との複合多目的型グローブボックスなど、ニーズに応じたグローブボックス製作が可能!
  • オーダーメイド生産・オリジナル製品作成が可能!
  • 開発・設計から納品・設置・施工まで一元管理

ガス循環精製装置およびグローブボックス

一体型グローブボックス

一体型グローブボックス

分離型グローブボックス

分離型グローブボックス

1.装置の概要

1-1.ガス循環精製装置 1-2.グローブボックス
一体型・分離型

2.仕様

2-1,ガス循環精製装置

流体 N2ガス、Arガス、Heガス、Xeガス、Krガス等
循環量 6㎥/H 他
不純物濃度 精製系入口 水分;露点 -60℃以下(max -30℃間欠)
         酸素;濃度 1ppm vol
精製系出口 水分;露点 -80℃以下(実績-90℃以下)
         酸素;濃度 0.1ppm以下
精製方法 水分;吸着材による吸着
酸素;触媒による反応 2筒切換式(単筒式もあります)
溶剤;特殊吸着材による吸着
操作方法 全自動および半自動
切換時間 72時間以上
再生方法 水分・酸素除去 加熱再生、空冷方式
溶剤除去    加熱再生、空冷方式
再生所要時間 24時間
電源 AC200V 50Hz 三相 6KVA
計装用ガス 供給圧力 0.5MPa以上
再生用ガス 水分・酸素 :Ar / H2(3%以上)ガス(再生時のみ使用)
循環ブロワー AC200V. 3相
真空ポンプ 精製装置用およびエントリーポート置換用 モーター ;AC200V. 3相
材質 配管・弁・循環主ライン :SUS304
接続口径 循環ガス入口 ;NW20
精製ガス出口 ;NW20

2-2,グローブボックス

片面型グローブボックス 幅1200×高さ700×奥行き:床面700・天井:650
材質:SUS304 3t 内面仕上げ : バフ研磨 又は 電解研磨
圧力制御 大気圧±1.5KPa内,ON-OFF制御
エントリー
ポート
1箇所  :角型幅300/高さ4000/奥行き450(スライドテーブル付)
内側扉  :スライド開閉式,外側扉:蝶番開閉式
置換操作  :手動/自動
操作面 10t 透明アクリル又はガラス
蛍光灯 1ヶ所 白色(FL20W×1本)
グローブポート 8″用2ヶ所 (1双)
材質 ブチル 0.4 or 0.8t 9- 3/4″ 
(ハイパロン :ネオプレンも有ります)
気密コネクター 3P 1ヶ所(コンセント3P×2口)   4P 1ヶ所
予備ポート PT1/4 2ヶ所
循環ガス出入口 NW25
ダストシュート 1ヶ所(底面)
露点計センサーポート UNF3/4-16 1ヶ所
リーク量 1×10-4 Pa m3/seca

    

実績紹介

「耐真空グローブボックス」

耐真空グローブボックス

本装置は耐真空グローブボックスで、サイドに低温電気炉1基、
上部に高温電気炉2基を搭載。
上・下機構で物品の出し入れを行います。

←組立風景

「耐真空グローブボックス、大気圧グローブボックス連続タイプ」

耐真空グローブボックス、大気圧グローブボックス連続タイプ

一体型グローブボックス

一体型グローブボックス

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