グローブボックス・ガス精製装置
ガス循環精製装置およびグローブボックス
2連結一体型グローブボックス
分離型グローブボックス
1．装置の概要
| 1－1．ガス循環精製装置 | 1－2．グローブボックス |
| 一体型・分離型 | |
2．仕様
2－1，ガス循環精製装置
| 流体 | N2ガス、Ａｒガス、Heガス、Xeガス、Krガス等 |
| 循環量 | 6㎥/H 他 |
| 不純物濃度 | 精製系入口 水分；露点 －60℃以下（max -30℃間欠） 酸素；濃度 1ppm vol 精製系出口 水分；露点 －80℃以下（実績-90℃以下） 酸素；濃度 0.1ppm以下 |
| 精製方法 | 水分；吸着材による吸着 酸素；触媒による反応 ２筒切換式（単筒式もあります） 溶剤；特殊吸着材による吸着 |
| 操作方法 | 全自動および半自動 |
| 切換時間 | 72時間以上 |
| 再生方法 | 水分･酸素除去 加熱再生、空冷方式 溶剤除去 加熱再生、空冷方式 |
| 再生所要時間 | 24時間 |
| 電源 | AC200V 50Hz 三相 6KVA |
| 計装用ガス | 供給圧力 0.5MPa以上 |
| 再生用ガス | 水分･酸素 ：Ar / H2（3%以上）ガス（再生時のみ使用） |
| 循環ブロワー | AC200V. 3相 |
| 真空ポンプ | 精製装置用およびエントリーポート置換用 モーター ；AC200V. 3相 |
| 材質 | 配管・弁・循環主ライン ：SUS304 |
| 接続口径 | 循環ガス入口 ；NW20 精製ガス出口 ；NW20 |
2－2，グローブボックス
| 片面型グローブボックス | 幅1200×高さ700×奥行き：床面700・天井：650 |
| 材質：SUS304 3ｔ | 内面仕上げ ： バフ研磨 又は 電解研磨 |
| 圧力制御 | 大気圧±1.5KPa内，ＯＮ－ＯＦＦ制御 |
| エントリー ポート |
1箇所 :角型幅300/高さ4000/奥行き450（ｽﾗｲﾄﾞﾃｰﾌﾞﾙ付） 内側扉 :スライド開閉式，外側扉：蝶番開閉式 置換操作 :手動／自動 |
| 操作面 | 10t 透明アクリル又はガラス |
| 蛍光灯 | 1ヶ所 白色（ＦＬ20Ｗ×1本） |
| グローブポート | 8″用2ヶ所 (1双) |
| 材質 | ブチル 0.4 or 0.8t 9- 3/4″ （ハイパロン ：ネオプレンも有ります） |
| 気密コネクター | 3P 1ヶ所（コンセント3Ｐ×2口） 4P 1ヶ所 |
| 予備ポート | PT1/4 2ヶ所 |
| 循環ガス出入口 | NW25 |
| ダストシュート | 1ヶ所（底面） |
| 露点計センサーポート | UNF3/4－16 1ヶ所 |
| リーク量 | 1×10-4 Pa m3／seca |
